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无锡华润上华请求反常晶圆的诱因识别系统及办法专利完成了反常晶圆的智能化剖析

时间: 2025-05-10 08:08:46 |   作者: 产品展示

  金融界2025年3月29日音讯,国家知识产权局信息数据显现,无锡华润上华科技有限公司请求一项名为“反常晶圆的诱因识别系统及办法”的专利,公开号CN 119694924 A,请求日期为2023年9月。

  专利摘要显现,本发明触及一种反常晶圆的诱因识别系统及办法,所描绘的办法包含:获取反常晶圆的反常散布图;所述反常散布图包含所述晶圆的缺点散布图和/或所述晶圆的良率散布图;将工艺机台在进行工艺时与晶圆触摸的部件在晶圆外表的特征印记,与所述反常散布图作比照,找出与所述反常散布图中的反常方位存在类似区域的特征印记及所述特征印记对应的部件;依据所述特征印记对应的部件,得到工艺过程中形成晶圆反常的工艺机台及工艺过程。本发明完成了反常晶圆的智能化剖析,自动化程度提高,提高了工程剖析功率。

  天眼查资料显现,无锡华润上华科技有限公司,成立于2002年,坐落无锡市,是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册本钱66801.147万美元,实缴本钱66801.147万美元。经过天眼查大数据剖析,无锡华润上华科技有限公司参加招投标项目3768次,产业线条,此外企业还具有行政许可105个。

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